磁存储靶材
磁存储靶材是用于磁存储器件(如硬盘、磁头等)制造的关键材料,通过磁控溅射等技术在基材表面形成功能性薄膜,以实现高密度数据存储和稳定读写性能。以下是相关技术要点及应用总结:一、材料特性与核心作用
[*]成分与结构
[*]磁存储靶材通常由磁性金属或合金构成,如镍(Ni)、钛(Ti)、钨(W)、钼(Mo)等元素的组合,通过优化配比实现高纯度、高密度及均匀微观结构。
[*]例如,Mo合金靶材含Ni、Ti、W等元素,可提供低电阻、耐氧化性及阻扩散性能,适用于高性能磁存储薄膜的制备。
[*]关键功能
[*]在磁存储设备中,靶材通过溅射形成薄膜层,直接影响磁头的改写场强度和存储介质的稳定性。例如,硬盘制造中需通过氩离子轰击靶材,在基盘上形成均匀的底层薄膜以增强磁头性能。
二、技术优化方向
[*]磁场控制技术
[*]采用可移动磁场磁控靶设计(如专利CN 222715439 U),通过调节磁场分布扩展溅射区域,改善薄膜厚度均匀性,提升靶材利用率。
[*]此技术通过磁铁移位调节空间和驱动气缸联动,优化靶材刻蚀特征,减少材料浪费。
[*]制造工艺创新
[*]高密度靶材制造需结合粉末冶金、热压烧结等工艺,确保材料致密性和纯度。
三、应用场景与价值
[*]磁记录与存储器件
[*]磁性靶材广泛用于磁记录材料、磁性传感器及高密度存储器件(如硬盘、磁头等)。例如,钽(Ta)靶材因耐腐蚀性优异,可用于硬盘保护涂层的沉积。
[*]铝钪(Al-Sc)靶材通过细化晶粒结构,提升薄膜强度与耐热性,适用于航空航天领域的高性能存储组件。
[*]未来发展趋势
[*]随着磁电存储技术的国产化推进,靶材在提升存储密度和读写速度中的作用愈发关键。例如,华为磁电存储技术中靶材的研发与应用成为产业链重点。
总结磁存储靶材通过成分优化、磁场控制及工艺创新,在磁存储器件中实现高稳定性、低电阻的薄膜沉积。其技术突破与规模化生产将推动磁存储设备向更高性能、更低成本方向发展。
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