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低温泵的再生‌是指通过一定的操作手段，去除凝结在低温泵冷头上的固态气体，恢复其正常工作状态的过程。低温泵广泛应用于半导体、集成电路和空间技术等领域，通过冷凝、吸附和捕集气体来实现真空环境。然而，由于低温泵采用冷头吸附，工作一段时间后，冷头表面会被气体凝结的固体所覆盖，导致表面温度升高，气体吸附作用减 ...