国产抛光液厂家
国产抛光液根据应用领域和技术特性可分为以下几类:
🖥️ 一、半导体CMP抛光液(核心领域)
[*]铜/钨/介质抛光液
[*]安集科技:国内龙头,覆盖铜/钨/介电材料抛光液,市占率23%,7nm产品进入台积电供应链,28nm以下制程纯度达99.99995%。
[*]鼎龙股份:抛光垫市占率近30%,同步量产抛光液并实现研磨粒子自给, ...
CMP抛光材料
CMP 全称为 Chemical Mechanical Polishing,即化学机械抛光
化学机械抛光(CMP)是晶圆制造的关键步骤,其作用在于减少晶圆表面的不平整,而抛光液、抛光垫是CMP技术的关键耗材,价值量较高,分别占CMP耗材49%和33%的价值量,其品质直接影响着抛光效果,因而对提高晶圆制造质量至关重要。
抛光液/垫技术壁垒较高,高品质 ...