13.5nm 的光没有透镜可用，EUV 是被激光“打”出来的

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✦ 13.5nm 的光，是被激光“打”出来的 ✦

制造设备 · 光刻 ｜ 阅读约 60 秒

先抛个问题：光刻要用 13.5nm 的极紫外光，可这个波长的光，地球上找不到能透它的材料——石英、玻璃、连空气都把它吸得干干净净。没有透镜，光路该怎么搭？

🧩 卡住的点 传统光刻靠透镜折射，把光“捏”成图案。但 EUV 会被所有材料吸收，折射这条路直接堵死。剩下的选项只有一个：用反射镜，一片一片镀上几十层钼硅薄膜来反射。

⚙️ 光从哪来：不折射，直接“打” 真空腔里，喷嘴每秒射出 5 万颗直径 40 微米的锡球。预脉冲激光先把锡球压成一枚薄饼，主激光在 20 微秒后正中靶心，锡瞬间变成约 40 万度的等离子体，辐射光谱里恰好有 13.5nm。

📉 代价有点肉疼 锡变等离子体的能量转换效率只有约 5%，其余全变成热。整机要吃掉 20kW 以上的电，才换来约 250W 的 EUV 输出；反射镜还会再吃掉一部分。这也是 EUV 敢卖 1.5 亿欧元的原因之一。

🎯 一句话带走 EUV 不是“发”出来的光，是“炸”出来的光：一滴锡，两次激光，二十微秒，换一次曝光。

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