外延片边缘生长快？先看气流和温度场 🌡️

生产队队长

✦ 外延片边缘生长快？先看气流和温度场 🌡️ ✦
均匀性不好，先别急着改工艺，看看腔体的「呼吸」。

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▪️【为什么】外延生长里最容易被忽视的一对矛盾：中心厚还是边缘厚。边缘长得快，多数不是反应问题，而是气流在边缘形成涡旋、局部温度偏高所致。
▸ 查基座：石墨盘平整度和使用次数要建档，老基座边缘塌陷会改变气流；
▸ 调流场：调小通气量、加大转速，让边界层更均匀；
▸ 看压力：腔压不稳时厚度均匀性会跟着抖，波动数据要留存。
▪️【划重点】把厚度均匀性数据按基座使用批次分组统计，规律马上就出来。

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