石英舟用久了，方阻跟着飘 🧪

生产队队长

✦ 石英舟用久了，方阻跟着飘 🧪 ✦
工艺没动而数据在漂，先查器皿的「年龄」。

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▪️【为什么】扩散线上有个慢性病：工艺没动，方阻却在慢慢漂。很可能是石英舟和炉管金属污染累积、舟体沉积层过厚，改变了温度场和气氛。
▸ 建寿命档案：石英件到寿命就清洗或更换，别用到裂了才换；
▸ 新舟先钝化：上线前空跑钝化，第一炉片子单独标定；
▸ 装片标准化：片距、插深固定，装片差异对方阻的影响比想象中大。
▪️【划重点】把方阻数据按舟龄分组画箱线图，漂移规律一目了然。

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