📐 同一炉镀出来，边缘比中心厚 3nm

Design

📌 一副伞架，两个世界
镀 550nm 窄带滤光片，中心片 550.0nm，边缘片 553.2nm，一整盘良率只有六成。查了两天不是监控漂，是伞架行星旋转配比没调对——边缘沉积角大，膜厚天然偏高。
🧩 均匀性由三个几何量决定
▍源到基板距离：越近，中心与边缘立体角差越大 🌈
▍伞架自转与公转比：常见 1:4 到 1:6，比例不对，厚度呈花瓣状分布
▍修正挡板轮廓：边缘多挡、中心少挡，把偏差一点点掰回来 📐
▍沉积角还会改柱状生长方向，厚度对了，折射率也可能差 0.02
🔧 把良率从六成拉到九成
✓ 先静态试镀一次：不放修正板，测整盘厚度分布曲线
✓ 按实测曲线反算挡板轮廓，一轮不够就迭代两轮
✓ 每炉放三片监控片（中心、中环、边缘），波长差压到 1nm 内
✓ 换靶材、换坩埚后重测分布，tooling 变了，几何也变了 ⚡
💡 一句话
镀膜的一致性不是靠监控片救的，是靠几何设计算出来的。🔍
你们的修正板是算出来的，还是老师傅一点点磨出来的？👇