晶圆边缘崩边频发？从拉晶到抛光找真凶🔍

生产队队长

✦ 晶圆边缘崩边频发？从拉晶到抛光找真凶🔍 ✦

一片晶圆的成色，藏在每一道看不见的工序里。

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▪️【为什么】现象场景
最近一批6英寸片在客户端反馈边缘崩边，开盒就有白色碎屑。产线第一反应是包装太薄，翻了三天的出货记录才发现，同一炉号的片子在倒角工序后边缘就有微小缺口，只是当时没人在意。
▪️【怎么办】3条对策
▸ 先查倒角砂轮粒度与进给速度，边缘R角稳定在0.15~0.25mm，砂轮每500片修整一次
▸ 再核抛光液流量与pH，pH漂到11以上容易过腐蚀，边缘出现雾状麻点
▸ 最后看清洗甩干转速，转速阶梯上升，别一步拉到2000rpm，水膜冲击会造成隐性裂纹
▪️【划重点】崩边很少是最后一道工序造成的，往前追三步才是真相。

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💬 你们厂的边缘不良，最后都追到哪道工序了？