外延层雾状缺陷反复出现，问题藏在哪一步🌫️

生产队队长

✦ 外延层雾状缺陷反复出现，问题藏在哪一步🌫️ ✦

外延不是长得多厚，而是长得有多干净。

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▪️【为什么】现象场景
一批N型外延片在显微镜下出现成片雾状缺陷，缺陷密度从0.3/cm²跳到5/cm²。机台自检全绿，气体纯度报告也合格，产线一度怀疑是检测灯光的问题。
▪️【怎么办】3条对策
▸ 先做基座susceptor检查与高温烘烤，HCl气相抛光每班一次，温度1150℃保持10分钟
▸ 核对生长速率与温度曲线，速率突然从2.5μm/min提到3.2，界面易出现位错聚集
▸ 排查气路微漏，氦检漏打到1×10⁻⁹ Pa·m³/s，别只看总压
▪️【划重点】雾状缺陷九成来自「看不见的脏」，不是机台报警的那部分。

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💬 你们遇到外延雾度超标，第一步先拆哪？