扩散方块电阻偏高，炉管里发生了什么🔥

生产队队长

✦ 扩散方块电阻偏高，炉管里发生了什么🔥 ✦

炉管不说话，但每一度都在记账。

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▪️【为什么】现象场景
磷扩散后Rs均值比目标高8%，片内均匀性也变差。操作员说配方没动，可炉口那支热电偶已经漂了半个月，恒温区悄悄缩短了10cm，而工艺卡上的恒温区长度，还是三年前标定的。
▪️【怎么办】3条对策
▸ 每周做炉温曲线校验，恒温区±1℃范围要覆盖满载舟全长
▸ 检查舟位与气流方向，源瓶N₂流量稳定在500sccm，别让片子在冷区待着
▸ 用四探针每批测9点，Rs偏差超5%先查源浓度再查温度
▪️【划重点】扩散的稳定性，是炉管和仪表一起守出来的。

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💬 你们的炉管多久校验一次温度？