薄膜颗粒突然超标，别急着怪清洗机🧼

生产队队长

✦ 薄膜颗粒突然超标，别急着怪清洗机🧼 ✦

一颗颗粒的旅程，比你想的要长。

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▪️【为什么】现象场景
PECVD氮化硅膜颗粒数从15颗突然涨到200颗，清洗机被翻了个底朝天也没找到原因。最后在腔体喷淋头背面看到一层薄薄的白色沉积物，一碰就掉粉。
▪️【怎么办】3条对策
▸ 建立腔体PM周期，每2000片或50小时做一次in-situ clean，别硬撑
▸ 每班测颗粒基线，大于30颗/片（0.2μm）就停机做seasoning
▸ 检查前驱体管路与喷淋头温度80~120℃，冷点就是粉尘源
▪️【划重点】颗粒问题，先怀疑腔体脏了，再怀疑片子脏了。

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💬 你们腔体的PM周期按片数还是按小时？