CP良率突然掉3个点，测试数据会说话📊

生产队队长

✦ CP良率突然掉3个点，测试数据会说话📊 ✦

数据不会撒谎，只看你会不会问。

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▪️【为什么】现象场景
同一批wafer的CP良率从96%掉到93%，失效集中在wafer map的右下角。设备工程师说探针卡刚换，测试工程师说程序没改，最后发现是chuck那侧温度高了4℃。
▪️【怎么办】3条对策
▸ 先看wafer map分布：边缘集中查温度与接触，随机分布查工艺缺陷
▸ 每班做标准片校验，Vth漂移超30mV就停线校机
▸ 探针卡按扎针次数管理，10万次强制保养，接触电阻大于2Ω就换
▪️【划重点】良率异常，先定位「形状」，再定位「工序」。

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💬 你们看到wafer map第一眼先看哪里？