🔥 不开离子源，膜一擦就花

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📌 现场对比：同一台机器，两副面孔
▍上周车间热蒸发和离子辅助沉积（IAD）各镀一批 AR 膜：热蒸发膜酒精棉一擦就出划痕，IAD 膜拿钢丝球蹭也没事
🧩 差别在膜层致密度
⚡ 热蒸发粒子能量只有 0.1eV 量级，膜层疏松呈柱状结构，吸潮后波长漂移
⚡ IAD 用几百 eV 离子轰击，把原子砸实进膜里，堆积密度接近 1.0，硬度和附着力都不是一个量级
🔍 代价是塑料、晶体这类温度敏感基板扛不住轰击，得换低能温和模式
🔧 参数要点
▍阳极电压 80~120V，束流按材料调：TiO2 比 SiO2 更容易过轰击失氧
▍失氧会吸收上升，透射率掉 1~2%，必要时往腔体补氧
✓ 每炉放监控片，光控实时跟踪波长，别只信抽检
💡 观点
📐 户外和车载镜头必须上 IAD，省下的炉时会在售后环节加倍还回来
🌈 工艺窗口比设备值钱，参数记录一定要留档可追溯
抛个问题：你们镀脆性基板时，怎么平衡轰击强度和膜层硬度？