🎬 薄膜应力没控住，翘曲说来就来

生产队队长

✦ 🎬 薄膜应力没控住，翘曲说来就来 ✦

应力，是薄膜看不见的脾气。

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▪️【为什么】氮化硅沉积完看着挺好，几道工序下来晶圆慢慢翘了，光刻对焦越来越难，颗粒问题还没查清，翘曲先找上门。
▪️【怎么办】
▸ SiH 与 NH3 比例微调，把应力拉回 -200MPa 以内的压缩区间
▸ 沉积功率与温度联动复核，排除射频波动带来的应力漂移
▸ 每炉放应力测试片，数据进 SPC 趋势图，提前干预不等报废
▪️【划重点】应力监控要跑在翘曲发生之前。

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💬 你们监控薄膜应力的频次是多少？