🛡️ 栅氧化层就几纳米，容不得马虎

生产队队长

✦ 🛡️ 栅氧化层就几纳米，容不得马虎 ✦

最薄的地方，藏着最贵的风险。

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▪️【为什么】栅氧化层里混进一颗颗粒或一个针孔，击穿电荷立刻掉下去。这种缺陷封装前几乎无感，到客户端就是场效应管短路报废。
▪️【怎么办】
▸ 干氧掺微量 TCA/Cl2 改善氧化层质量，压低界面电荷密度
▸ 炉管颗粒每炉必测，0.2μm 以上颗粒超标立即清洗腔体
▸ C-V 与击穿测试按批抽测，TDDB 数据入库长期追踪
▪️【划重点】氧化层的命门，是颗粒和洁净度。

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💬 各家栅氧击穿场强标准是多少？