🌿外延生长总出雾状缺陷？过渡层是关键

生产队队长

✦ 🌿外延生长总出雾状缺陷？过渡层是关键 ✦

外延片的表面雾点，十有八九是过渡层没铺干净的账。

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▪️【为什么】现象场景
衬底进炉前看着光亮如镜，长完外延却在显微镜下泛起一层灰雾。查来查去，问题多半出在生长初期的界面过渡：衬底氢气原位清洗不彻底，残留的天然氧化层让硅原子排列断了代，位错一路向上繁殖，最后在表面显形成雾状缺陷。
▪️【怎么办】实战对策
▸ 原位氢清洗温度提足并保够时间，温度低了洗不掉，时间短了洗不透；
▸ 主生长前先长一层低温缓冲层，把晶格失配在薄层里消化掉；
▸ 反应腔压强与气体配比逐炉核对，MO源流量波动超过设定值±3%就停机排查管路。
▪️【划重点】外延质量是衬底决定下限、过渡层决定上限，两层都要硬。

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💬 你的炉台长雾点时最先查什么？把你的排查顺序写在评论里