🧱氮化硅膜一退火就裂？内应力控制有讲究

生产队队长

✦ 🧱氮化硅膜一退火就裂？内应力控制有讲究 ✦

薄膜的应力，平时看不见，退火一到原形毕露。

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▪️【为什么】现象场景
PECVD沉积的氮化硅看着致密均匀，到了下游退火工序却成片开裂剥落，追溯过来是膜里压应力太高：射频功率和硅烷配比一偏，膜的化学计量比就偏了，应力跟着飙到几百兆帕，退火加热后应力释放，直接把膜撕开。
▪️【怎么办】实战对策
▸ 每炉留一片陪片测应力，将数值控制在工艺窗口内，一旦超出窗口立即调整射频功率；
▸ 采用双层结构设计，先沉积一层含氢较多的缓冲层，再沉积化学计量比的氮化硅，使应力相互抵消；
▸ 基片温度按规格执行，不要私自降低温度以节省时间——温度低了，膜疏松，应力更大。
▪️【划重点】薄膜不怕厚，怕的是应力没人管——陪片就是你的体温计。

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