💥注入剂量悄悄漂了？离子源的体检要跟上

生产队队长

✦ 💥注入剂量悄悄漂了？离子源的体检要跟上 ✦

剂量漂移不打招呼，电参数替它说话。

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▪️【为什么】现象场景
这周晶体管驱动电流整体偏低，查了一圈光刻和退火都对，最后在注入机上找到答案：源灯丝老化后束流不稳，法拉第盘积分的剂量虚高，实际注入量不足。剂量这类参数看不见摸不着，全靠机台自检和陪片监控。
▪️【怎么办】实战对策
▸ 每班开机先跑标准剂量验证片，测量sheet值并与参考值对比，偏差超过±2%即报修；
▸ 定期检查灯丝电流与源室真空度，灯丝运行到寿命的80%即提前更换，不要等待烧断；
▸ 每月用SIMS抽测一次实际注入剖面，校准法拉第盘的积分误差。
▪️【划重点】离子注入的信条：数据不算数，剂量就不算数。

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💬 你的注入机多久做一次剂量校验？来评论区晒晒周期