🪞晶圆总厚度差超标？研磨吃量要分段喂

生产队队长

✦ 🪞晶圆总厚度差超标？研磨吃量要分段喂 ✦

磨片不是力气活，是让砂轮温柔吃料的功夫活。

---

▪️【为什么】现象场景
粗磨一道工序吃掉大半厚度，效率确实高，可晶圆边缘翘曲、TTV严重超标，下道抛光补都补不回来。砂轮粒度太粗、进给一刀到底，磨削力把薄片子压出了弹性形变，抬起刀后回弹不一致，厚度差就出来了。
▪️【怎么办】实战对策
▸ 采用粗磨加精磨两段进给方式，粗磨快速去除大部分余量，精磨保留5μm左右进行轻磨，使表面状态得到缓冲；
▸ 砂轮按计划进行修整，出现钝化后磨削力上升，是导致崩边和翘曲的主要源头；
▸ 真空吸盘的洁净度每班进行检查，一处碎屑就会顶起一片翘曲，污染一片托盘。
▪️【划重点】研磨的功夫在减法里做加法：分段喂刀，越到后面越轻。

---

💬 你的TTV总压不下去吗？来评论区报一下你的工艺参数