🪞 镀完膜镜片变弯了，应力没配平

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📌 高反膜镀完，平面干涉仪一照条纹全乱
▍上个月镀一组 1064nm 高反膜，20 层 Ta2O5/SiO2 交替，镀完测面形 PV 值从 0.08λ 飙到 0.9λ，镜片肉眼可见往膜层一侧凹
🔍 根源：高折射率氧化物膜普遍带压应力，层数一多应力累计把基片顶弯，膜越厚、基片越薄越明显
🔧 缓解办法按常用顺序排：
✓ 靠高低折射率材料交替做应力互补，Ta2O5 压、SiO2 拉，调整高低层厚度比例
✓ 离子辅助沉积提高致密度，含水量下降后应力漂移也跟着变小
✓ 高精度场合做基片预弯补偿，或双面镀膜对消
💡 结论：评价膜系不能只看光谱曲线，面形和应力是另一张考卷
你们在薄基片或大口径件镀膜时，应力控制走的什么路子？