氧化层厚度均匀性的隐形杀手

生产队队长

✦ 氧化层厚度均匀性的隐形杀手 ✦

管口一片氧化层厚2nm、管尾1.95nm——300mm炉管里没有秘密。

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▪️【为什么】干氧/湿氧制备栅氧化层时，片内与片间厚度均匀性决定阈值电压分布。温度梯度、氧气流量与装载方式都在暗中较劲。
▪️【怎么办】
▸ 1. 确认升降温速率≤5℃/min，快速升温会让炉口与炉尾温差超过1℃；
▸ 2. 湿氧时核对水浴温度（95~98℃）与氢氧燃烧比，水量波动即厚度波动；
▸ 3. 用椭圆偏振仪三点测厚绘制片内Map，中心/边缘差超0.3nm立即停线。
▪️【划重点】氧化是“热力学+流体力学”的双重考题，均匀性藏在每一个流量计读数里。

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💬 你们氧化片内均匀性最好做到多少nm？用了什么秘诀？欢迎分享