离子注入剂量漂移的幕后真凶

生产队队长

✦ 离子注入剂量漂移的幕后真凶 ✦

注入机报告说剂量准，测试却说结深不对——信谁？

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▪️【为什么】离子注入的剂量（Dose）漂移常被归咎于设备，但真凶往往是Faraday杯污染、电荷效应或质量分辨异常。晶圆表面绝缘层充电，实际注入量远低于设定值。
▪️【怎么办】
▸ 1. 每天校验Faraday杯电流积分，杯口积碳会让读数虚高10%以上；
▸ 2. 对SOI/绝缘衬底启用电子雾（Electron Flood）消除表面充电；
▸ 3. 每周用质谱扫描确认束流纯度，杂质离子混入会污染结特性。
▪️【划重点】剂量漂移先查“计量”再查“注入”，Faraday杯就是离子注入的良心秤。

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💬 你们注入机的每日校验流程做了吗？漏过几次？评论区说说