LED外延片的光致发光(PL)电致发光(EL)测试
LED外延片的PL和EL测试是半导体制造中的核心检测手段,能帮你快速掌握材料质量和工艺状态。简单来说:PL测试(光激发)[*]原理:用激光照射样品,通过荧光信号分析结晶质量、缺陷密度和载流子寿命。
[*]应用:筛选高结晶材料,评估薄膜均匀性。
EL测试(电激发)
[*]原理:通电后捕捉红外发光信号,定位隐裂、虚焊等缺陷。
[*]应用:验证工艺稳定性,优化电极接触。
技术优势
[*]无损检测:不破坏样品,适合产线抽检。
[*]高精度:可检测微米级缺陷。
[*]快速高效:单片检测仅需秒级。
设备示例
[*]PL测试仪:配备650nm激光光源,支持硅片/电池的PL/EL检测。
[*]PL光致发光测试系统:兼容多尺寸样品,检测时间IR为20秒、PL为10-30秒。
这两种技术协同使用,能显著提升LED制造良率和性能。
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