薄膜大队 今日: 0|主题: 35|排名: 11 

在大多数半导体边发射激光器应用中，希望大部分的光都能从单面出射，这就需要在半导体腔面上镀制高反膜（HR），用来引导大部分光从前腔面出射，从而提高半导体激光器功率并降低损耗。 为了制备良好的单模器件，正面镀制减反膜（AR）是很重要的 ，如果没有AR膜，激光器可能存在多波长激射。 高质量腔面光学薄膜，不仅能提高 ...

蒸镀出站检验，显微镜形貌照片，偶然发现，挺美的。

所谓Lift-Off工艺，即揭开一剥离工艺，它是制作金属互连、导线和其他结构时的一种替代光刻和蚀刻过程的方法。 图1、普通光刻工艺示意图 　　我们先来看一下普通的光刻工艺（如图1所示)：首先进行成膜，然后将涂布在基板上的光刻胶进行图形化曝光，显影除去曝光的光刻胶，接着进行刻蚀，最后将剩余光刻胶剥离，留在基板 ...