腔面镀膜

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在大多数半导体边发射激光器应用中，希望大部分的光都能从单面出射，这就需要在半导体腔面上镀制高反膜（HR），用来引导大部分光从前腔面出射，从而提高半导体激光器功率并降低损耗。
为了制备良好的单模器件，正面镀制减反膜（AR）是很重要的 ，如果没有AR膜，激光器可能存在多波长激射。
高质量腔面光学薄膜，不仅能提高半导体激光器的斜率效率、防止腔面氧化、保护腔面，更重要的是提高半导体激光器的可靠性，防止腔面光学灾变的产生和有源区的污染，延长激光器的寿命。