外延PL测试是什么

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外延PL测试是半导体材料研究中的关键检测手段，通过光致发光（PL）技术分析外延片的光电特性，能快速定位缺陷、优化材料性能。具体来说：

一、测试原理

• ‌光致发光效应‌：用特定波长的光激发外延片，电子跃迁后释放光子，形成的荧光光谱直接反映材料内部结构和缺陷。
• ‌技术特点‌：系统支持高分辨率Mapping（空间分辨率可达1微米），可扩展为PL-Raman组合，满足科研和工业需求。
  

二、核心应用

• ‌半导体材料研究‌：分析GaN、InGaN等第三代半导体的温度相关光谱和荧光寿命。
• ‌LED外延片检测‌：通过PL和电致发光（EL）测试评估材料质量，例如EpiEL技术可直接测量LED外延片。
• ‌工业质量控制‌：自动化系统提升检测效率，适用于高通量生产场景。
  

三、技术优势

• ‌高精度‌：空间分辨率1微米，支持低温测量。
• ‌多功能‌：可测量膜厚、反射率及Mapping图，荧光光谱与杂质浓度、组分等参数密切相关。
• ‌自动化‌：LabVIEW系统实现多线程控制和动态显示，操作简便。