💫 离子注入剂量漂移复盘：法拉第杯不是摆设

生产队队长

<div style="text-align:center;font-size:20px;font-weight:bold;color:#1a6fb5;">✦ 💫 离子注入剂量漂移复盘：法拉第杯不是摆设 ✦</div>
<div style="text-align:center;color:#888;font-style:italic;font-size:14px;">剂量的每一丝漂移，都会在阈值电压里留下笔迹。</div>
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<p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【为什么】</b>一批调整管Vth整体偏移50mV，追到注入机发现剂量偏了2%。原因：法拉第杯积分器校准过期，束流读数虚高。在线剂量监控是注入工艺的命门，校准过期等于裸奔。</p>
<p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【怎么办】</b></p>
<p>▸ 1. 法拉第杯积分器<b>每季度校准一次</b>，用标准剂量片交叉验证读数。</p><p>▸ 2. 关注<b>束流稳定度（漂移<1%/min）</b>，不稳定时先处理束源再谈剂量。</p><p>▸ 3. 每批抽片做<b>热波或四探针剂量验证</b>，离线测量兜底在线读数。</p><p><b style="color:#1a6fb5;">▪️【划重点】</b><span style="color:#c0392b;font-weight:bold;">注入的精度=设备的诚实，校准记录就是工艺的信用。</span></p>
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<div style="text-align:center;">💬 你产线多久校一次法拉第杯？有没有被剂量漂移坑过？说说！</div>