洁净室为什么要数 0.1 微米的灰

device

✦ 洁净室为什么要数 0.1 微米的灰 ✦

环检设备 · 洁净度监测 ｜ 阅读约 60 秒

在晶圆厂，空气是“论个”卖的。ISO Class 1 的洁净区，每立方米空气中 ≥0.1μm 的颗粒不能超过 10 个。注意单位不是毫克，是“个”。

🔍 0.1 微米有多小 一根头发约 70 微米，0.1 微米是它的七百分之一。肉眼看不见，普通光学显微镜也难分辨——所以不能用“看”的，只能“数”。

💥 一粒尘能干什么 EUV 波长 13.5nm。一颗 20nm 的颗粒落在掩模或晶圆上，就足以让整个曝光场报废。制程越先进，能容忍的颗粒越小，洁净室的标准也就越苛刻。

📡 怎么“数”出来的 激光粒子计数器：让空气匀速穿过激光束，颗粒经过时把光散射出去，用 90° 侧向的散射光强反推粒径。采样流量、等速采样、管路长度、弯头数量，都会影响读数——环检这行，一半功夫在“采得准”。

🧑‍🔬 最脏的其实是人 一个静止的人每分钟散发约 10 万个颗粒，说话、走动还要翻倍。所以进洁净室要穿“兔子服”，走路要慢，动作要小——不是仪式感，是良率。

🎯 一句话带走 洁净室真正的敌人不是脏，是“看不见”。

半导贴吧 · 环检设备