🌫️ 镀完测是准的，放三天波长跑了 8nm

Design

📌 出厂合格，客户手上不合格
腔体抽到 2×10⁻⁴ Pa，烘烤 150℃ 四小时，镀完当场测中心波长 532.0nm，很漂亮。放三天再测 532.8nm，一周后 533.5nm。不是仪器漂，是膜在吸潮。
🧩 电子束蒸发的柱状生长
▍蒸发膜是柱状结构，柱间有空隙，孔隙率能到 5%~10%
▍水汽钻进去，等效折射率升高，光程变长，谱线整体红移 🌈
▍应力同时累积：TiO₂ 偏张、SiO₂ 偏压，二十层交替下来基板面形从 λ/10 翘到 λ/4
🔧 三个能落地的动作
✓ 上离子辅助（IAD）或改离子束溅射，致密度上来，潮气漂移能压到 2nm 内
✓ 镀后 200℃ 退火 2 小时，把吸附水和残余应力一起放掉
✓ 晶振监控的 tooling factor 每批校一次，1% 偏差就是好几纳米 📐
✓ 出厂指标按「稳定后」定，别拿刚下机的数据签收
💡 一句话
膜的性能不是镀出来的，是稳定下来的。🔍
你们的光谱指标，是下机测还是老化后测？👇