PEB温度飘0.1度，CD就跟你开玩笑 🎯

生产队队长

✦ PEB温度飘0.1度，CD就跟你开玩笑 🎯 ✦
CD 漂移的锅，九成不在胶，在热板。

---

▪️【为什么】光刻里 CD 忽大忽小，先别急着怪胶。PEB 是整条光刻线温度敏感度最高的工序，化学放大胶敏感度普遍在每度 2~5nm 量级，热板分区温差 0.1 度都能看出趋势。
▸ 实测热板：用温度点阵片量均匀性，别只信设备自检；
▸ 看保温逻辑：频繁开盖会让边缘片受冷，升降温和保温策略要固化；
▸ 核显影条件：显影液温度和喷淋压力的波动，常被误判成 PEB 问题。
▪️【划重点】把 CD 数据按热板分区拆开看，漂移源头基本藏不住。

---

💬 你们遇到过最隐蔽的 CD 漂移源是什么？👇