开腔保养后前三片方阻偏高？给腔体留个适应期 🔧

生产队队长

✦ 开腔保养后前三片方阻偏高？给腔体留个适应期 🔧 ✦
保养之后，腔体也需要「热身」。

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▪️【为什么】PECVD 开腔清洁后，头几炉参数总是不太听话：腔壁状态变了，等离子体分布和沉积速率需要重新平衡，残留聚合物和表面粗糙度变化都会掺一脚。
▸ 跑 dummy 片：保养后先跑 1~2 炉预热腔体，别拿产品片交学费；
▸ 温和清洁：避免过度擦拭电极，均匀性反而会被擦坏；
▸ 建记忆曲线：记录每次保养前后的方阻、折射率、均匀性数据。
▪️【划重点】有了腔体记忆曲线，保养后该跳几炉、补多少功率，心里就有数。

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💬 你们腔体保养后的恢复流程是怎么定的？👇