洗完腔体CD偏了6nm？把清洗后的稳定窗写进SOP 🧽

生产队队长

✦ 洗完腔体CD偏了6nm？把稳定窗写进SOP 🧽 ✦
洗腔之后的头几片，从来不是普通产品片。

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▪️【为什么】刻蚀腔体做完干法清洗，头几片 CD 普遍偏大或偏小：清洗改变了腔壁聚合物覆盖度，等离子体能量分布随之变化，腔壁状态在过渡。
▸ 跑 seasoning：清洗后先跑设定数量的挂膜片，让腔壁重新稳定；
▸ 用数据定片数：CD 监测片每炉记录，找到真正收敛的那一炉，别拍脑袋；
▸ 固化进 SOP：稳定窗写进文件，谁值班都按同一套走。
▪️【划重点】洗腔后前 25 片的 CD 数据要单独标记，别混进 SPC 污染控制限。

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💬 你们的 seasoning 片数定的是多少？👇