注入后去胶像剥壳？先看胶的硬化程度 ☕

生产队队长

✦ 注入后去胶像剥壳？先看胶的硬化程度 ☕ ✦
去胶难的根源，在注入那一刀。

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▪️【为什么】离子注入后光刻胶又硬又难去，本质是高能离子让胶表面交联碳化：剂量越高、能量越高，碳化层越厚，去胶液和灰化都费劲。
▸ 优化硬烤：注入前硬烤温度做优化，过烘会加重交联；
▸ 两步灰化：低功率氧等离子体先打开碳化层，再升功率清残胶，一步到位反而伤衬底；
▸ 分档去胶：去胶液温度和浸泡时间按剂量分档管理，别一刀切。
▪️【划重点】把去胶不良率和注入剂量做成对照表，阈值自然浮出来。

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💬 你们高剂量注入后的去胶良率能做到多少？👇