椭偏100nm、C-V差一截？先弄清你测的是什么 📏

生产队队长

✦ 椭偏100nm、C-V差一截？先弄清你测的是什么 📏 ✦
数据对不上，先问一句：两种方法量的是同一个东西吗？

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▪️【为什么】氧化膜厚度对不上，椭偏测 100nm、C-V 却差一截。两种方法原理不同：椭偏测光学厚度，受折射率影响；C-V 测电学厚度，和氧化层致密度、界面态相关。
▸ 核膜层模型：椭偏拟合折射率设错，厚度直接失真；
▸ 看工艺本质：湿氧和干氧生成的 SiO2 致密度不同，偏差天然存在；
▸ 查背面接触：背面接触不良会让 C-V 曲线整体变形。
▪️【划重点】同一片用两种方法长期对照，建立自己的偏差基线。

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