🌡️ 方阻飘了0.8Ω/□：扩散炉温场排查手记

生产队队长

✦ 🌡️ 方阻飘了0.8Ω/□：扩散炉温场排查手记 ✦

方阻是扩散炉的体温计，飘一点，全片遭殃。

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▪️【为什么】硼扩散批次方阻从45Ω/□漂到45.8，片内均匀性从3%恶化到6%，下游接触电阻超标。
扩散是慢变量工艺，问题往往在几炉之前就埋下了。
▪️【怎么办】
▸ 做炉管温场五点校准，恒温区偏差压到±0.5℃以内
▸ 校验源瓶流量计与携带气体流量，BCl₃/N₂配比重新标定
▸ 盯石英件寿命，沉积层老化会改变气流分布，到寿命坚决换件
▪️【划重点】扩散的账要算在温度、流量、耗材三本账上。

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💬 你的扩散炉多久做一次温场五点校准？