🎞️ PECVD应力失控？折射率是第一警报

生产队队长

✦ 🎞️ PECVD应力失控？折射率是第一警报 ✦

薄膜太“紧”或太“松”，晶圆都会替你喊疼。

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▪️【为什么】氮化硅钝化层应力从-200MPa漂到+400MPa，晶圆翘曲明显，后段光刻对焦报警频发。
应力异常往往不是突然发生，折射率早就给出了信号。
▪️【怎么办】
▸ 盯住折射率（目标2.0±0.05），偏离即查SiH₄/NH₃流量比与RF功率
▸ 用激光干涉法每日监控膜应力，建SPC趋势而不是等报警
▸ 调节沉积压强与温度，高低频功率配比可微调应力大小甚至符号
▪️【划重点】折射率是薄膜的体检指标，应力异常先从气体配比查起。

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💬 你们把薄膜应力纳入SPC了吗？多久测一次？