🎯 注入剂量偏1%：电阻率为何集体漂移

生产队队长

✦ 🎯 注入剂量偏1%：电阻率为何集体漂移 ✦

离子的每一次撞击，都要打在设计的坐标上。

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▪️【为什么】某批NMOS源漏注入后片间电阻率漂移1.2%，WAT参数逼近规格上限，追溯发现剂量监控片读数异常。
注入机是一台“看不见的秤”，秤砣不准全厂遭殃。
▪️【怎么办】
▸ 每批插剂量监控片四探针复测，偏差超±0.5%立即停机排查
▸ 校验Faraday杯与电子流中和装置，空间电荷效应会悄悄吃掉剂量精度
▸ 关注束流稳定时间，起束预稳定2分钟再开闸注片
▪️【划重点】注入是看不见的秤，监控片就是你的砝码。

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💬 你的注入机多久校一次Faraday杯？