🫧 栅氧击穿电压下滑？干湿氧切换的细节账

生产队队长

✦ 🫧 栅氧击穿电压下滑？干湿氧切换的细节账 ✦

一层几百埃的二氧化硅，托住了整个栅极。

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▪️【为什么】栅氧耐压Vbd测试下滑明显，C-V曲线整体偏移，界面态上升，界面质量亮红灯。
氧化炉最怕的不是温度波动，而是气氛切换那一分钟的细节。
▪️【怎么办】
▸ 分清干氧/湿氧职责：栅氧用干氧+掺氯，场氧才用湿氧提速率
▸ 严控升温速率与气氛切换时序，切换窗口的气密性决定界面质量
▸ 石英管清洗后做试炉片验证，别让洁净度问题买单
▪️【划重点】栅氧质量藏在气氛切换的时序里，一分一秒都要有账。

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💬 你的掺氯氧化比例是多少？TCA还常用吗？