✂️ 激光划片崩边0.5mm：速度与焦点找平记

生产队队长

✦ ✂️ 激光划片崩边0.5mm：速度与焦点找平记 ✦

切得开晶圆不算本事，切得干净才算。

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▪️【为什么】激光划片后die边缘崩边占比上升，KGD筛选前就损失3%%，崩边集中在切割方向末端。
崩边三问：焦点准不准、速度稳不稳、膜平不平。
▪️【怎么办】
▸ 校准激光焦点位置，焦点偏移是崩边第一元凶，每班次做find focus
▸ 调整切割速度与重复次数，宁可两刀低速，不要一刀蛮干
▸ 检查贴膜张力与台面真空，膜松了晶圆微振，崩边自然多
▪️【划重点】崩边治理从焦点找平开始，参数微调永远留一组对照。

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💬 你现在用激光划片还是刀轮？崩边率多少？