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🎯 晶控和光控二选一?老手是两个都用

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发表于 1 小时前 | 显示全部楼层 |阅读模式
📌 车间里最常见的争论
▍石英晶振控厚按质量算,简单直接;光控法按透过率极值切点,直接对应光谱性能。新工程师常问到底信哪个
⚡ 我们的答案:多层长膜系两个都用,互相校验
🧩 各自的软肋
▍晶控传感器在夹具边缘,采的是局部沉积速率,和基片实际速率有系统差,跑长膜系误差会累积
✓ 光控精度高,但遇到折射率渐变或弱吸收层,极值切点会漂,切错一层整盘报废
🔍 我们统计过:纯晶控做 23 层增透膜,中心波长平均偏 4nm;加光控交叉验证能压到 1.5nm 以内
🔧 实操建议
▍监控片放在与基片同旋转半径的位置,消掉速率差的大头
📐 每层记录晶控频率与光控切点两个数,偏差超 0.5% 当班就校准
💡 留个话头
▍你们镀多层膜用哪种监控为主?切点判读有没有好用的算法?
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