氧化层厚度不均，湿氧干氧怎么选💧

生产队队长

✦ 氧化层厚度不均，湿氧干氧怎么选💧 ✦

氧化的均匀性，是温度和时间共同的作品。

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▪️【为什么】现象场景
栅氧化层厚度片内差8%，击穿电压分布很散。工艺卡写着1000℃湿氧45分钟，实际炉口温度偏低，水汽流量也不稳，边缘长得慢，中间却偏厚；操作员按经验补了五分钟，片内差反而更大，重做一轮才把厚度拉回窗口。
▪️【怎么办】3条对策
▸ 按用途选气氛：干氧致密、湿氧快，栅氧优先干氧+氮化
▸ 水汽源温度稳定在95℃，O₂/H₂比例固定，别让气泡进炉
▸ 每批测5点厚度，偏差超3%查炉温均匀性与舟位
▪️【划重点】氧化层差几个纳米，器件参数就差一个档。

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💬 你们的栅氧用干氧还是掺氯？