🌱 外延过渡层没压住，器件参数全漂

生产队队长

✦ 🌱 外延过渡层没压住，器件参数全漂 ✦

外延层好不好，先看界面有多陡。

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▪️【为什么】外延生长切换工艺时，界面处杂质互扩散拉出一条几十纳米的过渡带，器件阈值电压漂移、击穿电压缩水，测试端数据怎么调都追不回来。
▪️【怎么办】
▸ 生长前高温烘烤衬底 10~15min，清掉表面氧化层和吸附杂质再起步
▸ V/III 比切换采用阶梯式过渡，把过渡层厚度压到 50nm 以内
▸ 每 10 片抽测 SIMS，监控界面杂质陡峭度，趋势恶化立刻停机复检
▪️【划重点】陡峭的界面，等于稳定的器件参数。

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💬 各位的过渡层厚度目前做到多少纳米？