🔥 方阻漂 2 个 Ω/□，参数就全变了

生产队队长

✦ 🔥 方阻漂 2 个 Ω/□，参数就全变了 ✦

炉管不均，一片全废。

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▪️【为什么】立式炉跑完一批，边缘片与中心片方阻差出好几个欧姆方，结深和掺杂浓度跟着偏，下游器件参数分布直接拉宽，分选的时候 bin 率难看。
▪️【怎么办】
▸ 装片方式优化，假片与挡片规则执行到位，别让边缘片裸奔
▸ 源流量与温度按工艺窗口复核，升温步进速率不超过 5℃/min
▸ 每炉首尾片抽测四探针方阻，画出中心-边缘分布图再判批次合格
▪️【划重点】方阻均匀性，就是炉管温度场的健康度。

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💬 各条炉管的方阻极差你们控制在多少？