⚔️ 刻蚀选择比崩了，损失层全裸奔

生产队队长

✦ ⚔️ 刻蚀选择比崩了，损失层全裸奔 ✦

刻蚀的艺术，在于该停就停。

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▪️【为什么】选择比悄悄下滑，下层停层被啃掉一块，器件参数整体漂移。更糟的是这种损失肉眼看不见，等测试数据回来，一批货已经完了。
▪️【怎么办】
▸ 气体配比按 DOE 窗口回归，含氟/含氯体系比例一漂就查
▸ 定期做深度剖面 SEM，确认停层位置与过刻蚀量在窗口内
▸ 腔体清洁粒子作业后必做 qualification 片，这一步千万别省
▪️【划重点】过刻蚀量控制在目标层厚的 10% 以内。

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💬 大家的过刻蚀量标准定在百分之几？