💥 注入撞上沟道效应，剂量表骗了你

生产队队长

✦ 💥 注入撞上沟道效应，剂量表骗了你 ✦

同一剂量，不一定注入同一深度。

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▪️【为什么】晶圆没做预倾角，离子沿着晶向一路穿透，实际结深比工艺卡深出一截。剂量表上看数据正常，测出来的结深早就失控了。
▪️【怎么办】
▸ 晶圆预倾角 7° 加扭转角按工艺卡锁定，禁止随意关闭偏转
▸ 注入前检查晶向标记与卡盘吸附状态，防止晶圆打滑转位
▸ SIMS 定期抽测结深，与工艺卡及 SRIM 仿真逐项比对
▪️【划重点】预倾角不是摆设，是防沟道的命门。

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💬 你们的注入预倾角设置在几度？