🌀 CMP 压力没调平，碟形坑找上门

生产队队长

✦ 🌀 CMP 压力没调平，碟形坑找上门 ✦

抛光的最高境界，是又平又不伤。

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▪️【为什么】图形密度高低起伏的区域抛完，大 pad 区塌出碟形坑，密集线条区又出现侵蚀，平坦度指标全线超标，后续光刻焦点补偿都救不回来。
▪️【怎么办】
▸ 压力与 head 转速按图形密度分区优化，大 pad 区降压力
▸ Slurry 流量与分布环定期点检，防止中心区域缺液过抛
▸ 每批用轮廓仪测 dishing，按 pad 寿命建立修正曲线
▪️【划重点】均匀压力加稳定 slurry，才换得来平坦度。

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💬 你们的 dishing 控制在多少纳米？