💨 氖氪氙：半导体厂里最贵的“空气”

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空气里 99.99% 是氮和氧，剩下那一点点氖、氪、氙，恰恰是半导体厂离不开、也最金贵的气体。
🔍 它们用在哪
氖气是 KrF/ArF 光刻机准分子激光器的主角（激光气体里氖占 90% 以上）；氪气用于 UV 曝光与刻蚀；氙气用于离子注入和薄膜沉积。用量不大，断供即停线。
🏭 为什么这么贵
它们只能从深冷空气分离装置的尾气里“抠”出来：氖在空气中仅 18ppm、氪 1ppm、氙 0.09ppm。氙的提纯要多级精馏加吸附，按升计价，一罐能换一辆车。
📉 一个真实教训
2022 年俄乌冲突让两家供应全球约一半产能的特气厂停产，氖价一度涨了 20 倍。此后各大晶圆厂纷纷开始囤稀有气体或寻找第二供应源。
🔚 小结
稀有气体在芯片成本里占比不到 1%，风险却是 100%。国产空分尾气提纯这几年进步很快，但氙的高端提纯仍有差距。你的工厂做过特气断供演练吗？