🔥方块电阻一片一片不齐？扩散炉气流是元凶

生产队队长

✦ 🔥方块电阻一片一片不齐？扩散炉气流是元凶 ✦

方块电阻的均匀性，是气流和温度合写的一张成绩单。

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▪️【为什么】现象场景
同一炉三管片子，边缘片的方块电阻比中心片高出好几个单位，下班测试直接报警。现场一看，石英舟上摆片间距随意，进气口挡板还积着厚厚的磷玻璃，气体走到炉尾已经分层，前面的片子吃得多，后面的吃得少。
▪️【怎么办】实战对策
▸ 摆片严格执行图纸规定的间距和朝向，装片偏差控制在±1mm以内；
▸ 石英件每周按计划进行氢氟酸浸泡和清洗，防止沉积物阻碍气流；
▸ 炉温校准实行每季度全点校、每月中点抽，恒温区温度必须稳定在±
▸ 5℃以内。
▪️【划重点】扩散没有玄学，只有气流、温度、清洁这三件老实话。

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💬 你调匀方块电阻时靠改气流还是改摆片？说说你的绝招