⚡等离子刻蚀钻蚀严重？选择比和功率要配平

生产队队长

✦ ⚡等离子刻蚀钻蚀严重？选择比和功率要配平 ✦

刻蚀是减法艺术，多减一纳米都是事故。

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▪️【为什么】现象场景
沟槽刻完拿SEM一量，侧壁钻蚀得像被虫蛀过，线宽肥了，下层的介质还快被打穿。原因通常是三件事叠加：射频功率偏高、偏压过大让离子斜着砸、腔内聚合物沉积不足导致侧壁没有保护层。
▪️【怎么办】实战对策
▸ 调整RF功率与气体配比，将选择比提升至目标值以上，先降低偏压再调整流量；
▸ 引入适量的含氟碳气体，在侧壁形成聚合物保护膜，钻蚀现象会明显好转；
▸ 腔压按配方锁定，更改压力必须经工艺工程师确认并记录，禁止私自尝试。
▪️【划重点】刻蚀调机口诀：先看选择比，再管均匀性，最后抠钻蚀。

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