🌊栅氧一薄就漏电？氧化炉的洁净度是命门

生产队队长

✦ 🌊栅氧一薄就漏电？氧化炉的洁净度是命门 ✦

十纳米的氧化层，容不下一粒千分之一的尘埃。

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▪️【为什么】现象场景
栅氧越做越薄，漏电流却越来越高，失效分析常常揪出针孔和金属沾污：炉管内壁的颗粒、气体管路的微粒、装片时的手汗，都会在氧化高温下变成膜里的致命缺陷，TDDB寿命直接打折。
▪️【怎么办】实战对策
▸ 炉管定期进行RCA清洗和颗粒检测，颗粒数超标即降级用于非关键层；
▸ 高纯气体过滤器压差每周记录，到更换周期必须更换，不要以还能通气为借口拖延；
▸ 装片全程佩戴无尘手套和口罩，片子在传递盒外暴露时间控制在30秒以内。
▪️【划重点】氧化工序没有小事，洁净度就是良率的地基。

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